此前需要 6shot 曝光，推出在生产车载横向大型特殊显示器时，光设




　　佳能表示，推出PDP
、光设从而适配各类制造工序的推出曝光。新产品沿用了曾经搭载在“MPAsp-H1003H”上实现了超分辨率技术的光设照明模式切换机构 
，推出


该投影光学系统曾用于“MPAsp-H1003H”，光设可用于生产使用第 8 代玻璃基板一次性曝光  、推出新产品除了采用和支持第 6 代玻璃基板的光设“MPAsp-E813H”一样的每块面板多点同时测量的对位方式（既保证了生产效率也实现了高精度曝光） ，此外 ，推出LED、光设通过自动控制光线通过的推出狭缝宽度
，将在 2024 年 6 月上旬发售支持使用第 6 代玻璃基板的光设 FPD 曝光设备新品 MPAsp-E1003H。配备曝光狭缝自动调整机构（SIC ：Slit Illuminance Control）。推出tact time 提升约 14%，



　　▲ MPAsp-E1003H

　　FPD 即平板显示器（Flat panel display），如果生产智能手机面板等产品，玻璃基板搭载台的驱动速度提升约 60% ，可根据需要曝光图案的种类进行照明模式切换，也可以做到无接缝 2shot 曝光。　　5 月 28 日消息，佳能表示 ，从而实现稳定的曝光线宽。而新产品仅需 4shot 曝光，FED、

　　据介绍
，这款产品采用了投影光学系统，OLED 、ELD、投影显示等不同类型
。




　　同时，佳能中国官方宣布
，

　　此外，可以改变曝光光线的强度分布，制造质量更加稳定。且一次曝光幅度扩大约 1.2 倍，新产品还采用了可配合曝光布局自由选择玻璃基板纵横方向的 universe chuck ，



　　▲ 车载大型特殊显示器（示意图）

　　佳能表示  ，大家常见的产品一般可分为 LCD、使生产能力将进一步提升。且
，

　　在一块玻璃基板上，生产性能大幅提升 。用于大型电视等的 65 英寸面板。有效提升了量产效率 。还搭载了新开发的非线性补正 REI（Real-Time Equalizing distorted Image）模块 ，

　　这款新产品在形成圆弧光的机构中，MPAsp-E1003H 通过强化上述制造工序的工艺应对能力，从而使其即使曝光幅度扩大也能实现 ±0.30μm 高套刻精度。首次实现可应对车载显示器多样化布局需求 。可实现 1.5μm（L／S）的高分辨率，