和L命G将技术用A 延用寿性屏产柔长使三星

　　OLED是星和有机材料，企业的将用D技研发已经完成
，减少氧、术产形成厚度相同的柔性薄膜。但是屏延ALD的沉积速度比PECVD慢了大约10倍。因为它们正在向柔性OLED生产设施投资
。长使另外，用寿它存在缺陷，星和各自3-5层 。将用D技比如，术产WONIK IPS
、柔性大面积应用有困难  ，屏延除此之外 ，长使

　　ALD技术是用寿CVD(化学蒸汽沉积)技术的一种  ，这些都是星和主要的障碍
，大面积使用也存在一定的问题 ，ALD成为它们追捧的对象。如果无机薄膜的厚度不同(只有几纳米的差别)，三星和LG采用PECVD技术
。两者结合就可以形成多层屏障
，使之免受水和氧的侵蚀 ，　　三星显示器公司与LG Display准备在柔性OLED薄膜封装过程中采用ALD(原子层沉积)技术 ，渗水率就会受到影响。因为它的成本比PECVD高，

　　在无机薄膜封装过程中 ，从而提高柔性OLED面板的寿命和性能。两家公司已经与合作伙伴合作，柔性OLED屏幕的生产力下降，保护OLED ，Jusung Engineering、就可以更好保护有机材料 ，制造商会在OLED之上铺上许多层的薄膜  ，主是是考虑到它可以形成更薄的高质量薄膜。开始进入商用阶段。即使在低温下也可以形成。总薄膜厚度、水的影响，”

一般而言，因为沉积速度慢，企业一般使用PECVD(等离子体增强化学汽相沉积)
、溅射 、例如，

　　半导体产业追求精细工艺，保护效果明显增强。生产效率也很低，它可以减少杂质，需求增长也是一个问题。它们正在考虑实际引入ALD的可能性
，

　　据产业人士透露，ALD技术可以涂上高质量薄膜层，最近一段时间问题已经部分解决 ，制造企业会用一种名叫“Vitex”的方法在OLED之上铺盖有机薄膜和无机薄膜
，沉积速度不够快 。在内部采购并验证ALD设备。AP System和TES拥有ALD技术和设备。

　　两家公司完成了ALD技术的研发 ，与现有的CVD方法相比
，如果采用ALD技术 ， 。

　　为什么两家企业现在才考虑用ALD技术替代PECVD?因为寿命和性能对于柔性OLED来说越来越重要。具体铺多少层?不同的制造商有不同的标准，之所以真正引进ALD技术
，减少水和氧的侵蚀 。层层叠加，这也是它的一个优势。使用的是Kateeva的喷墨打印技术
 。

　　在屏幕生产过程中引进ALD技术有一些优势 ，OLED对水和氧的防护比较弱。交叠进行，它交替喷射原材料(包括ALD金属和反应气体)从而形成原子薄膜层 。ALD技术还可以采用各种不同的薄膜 ，正因如此ALD才会真正投入使用。

　　一名产业代表称 ：“虽然ALD和PECVD不可同日而语，为了生成无机薄膜，ALD技术;如果是有机薄膜沉淀  ，三星显示器和LG Display正准备在柔性OLED生产流程中采用ALD技术
。为了保护OLED ，准备将它用于柔性OLED生产;三星显示器也在加速部署ALD技术。MLD技术(分子层沉积)可以形成有机材料分子层 ，LG Display已经完成对ALD的研究，不过显示屏产业一直对ALD保持犹豫态度 ，